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AJA磁控溅射系统 Magnetron Sputtering System

ATC ORION系列 磁控溅射系统

  1. 产品说明
  2. 选配件
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AJA InternationalATC Orion系列磁控溅射系统是ATC Flagship旗舰系列下的一款高性价比的紧凑型物理气相沉积设备。Orion系列的高真空和超高压真空溅射系统都沿用了许多ATC溅射系统的成熟设计和通用配件。标准的ATC Orion部件(腔体,框架,集群法兰等)一般都有现货,因此我们能够有效缩短设备交货时间。

Orion 8有一款特殊设计的系统,可以集成42"磁控溅射靶源,可原位偏转。ATC Orion系列溅射系统可以轻易相互连接,或是连接其他ATC系统,集成多腔(如,金属/氧化物)或多功能混合系统(如,溅射/蒸发/PLD/离子束刻蚀)。

 

主要特点

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可集成5个或82"共溅射靶枪

向上或向下溅射

沉积均匀性+/-2.5% @ 4" (100mm)基片

样品台:加热,冷却(LN2/H2O),射频/直流偏压

选配射频,直流,脉冲直流和HIPMS等电源

可集成4MFC气路(Ar, O2, N2, H2)

选配load-lock预真空室

计算机控制或半自动控制

高真空或超高真空

 


产品规格

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