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多腔系统 Multi-chamers System

  • 多腔系统

    多腔系统

    ICP刻蚀机、RIE刻蚀机、PECVD和ICPECVD、真空装片装置或盒式载片台可以用3到6端口的传递腔室连接,实现多腔室系统供研发所用。 

     

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