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碳化硅晶体生长炉 SiC Crystal Growth

  • 世界上第一款200mm SiC晶体生长炉

     世界上第一款200mm SiC晶体生长炉

    电感加热式物理气相传输SiC生长炉

    双壁水冷石英管

    商业培训2英寸,100mm或150mm晶圆工艺

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    高清AV自动PLC控制,带工艺,触屏,安全互锁/警报等功能

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    占地空间最小的SiC生长炉

     

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